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開発・ソリューション事例CASE STUDY

製品の採用事例

ウェハ研磨装置の操作パネル

導入製品

事例説明

概要

半導体ウェハ研磨装置に、過去のWindows用のアプリケーションソフトがそのまま使える操作パネルPCを納入。また、長期安定供給により、開発費の抑制を実現。

ポイント

  • モデルチェンジしても主要機能の互換性を維持できる
  • 加工データの設定にWindowsで自由にアプリケーションを組める
  • 今までのアプリソフト動作が可能
  • 装置の安定供給が可能で、開発費を抑えられる
  • 外部接続ケーブルを1方向から出せる
  • 大容量のロガーデータをRAIDでバックアップ
  • LTE回線を利用してリモートメンテナンスに対応
  • UPS搭載

お客様要求事項

  • 長期安定供給
  • Windows2000用アプリケーションがそのまま使えること