開発事例
産総研ミニマル製造装置向けコントローラ
導入製品
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産業用コントローラ産業用コントローラの受託開発
オールインワンコントローラの要素技術を使った専用端末を開発
事例説明
概要
クリーンルームレスでデバイス作成する半導体製造装置向け専用EtherCATコントローラを開発。
オールインワンコントローラとして各種制御を可能にしました。量産にも対応。
ポイント
- 半導体レシピ販売を考えており、リモートで特定顧客にセキュリティー付きデータを配信するための遠隔操作ができる環境を実現できた
- 弊社のオールインワンコントローラが最適なソリューションと評価され、専用機を開発
お客様要求事項
- 半導体製造装置（前工程から後工程）の約80種のコントローラとして、すべて同機種を採用したい
- 8.4インチタッチパネル付コントローラとして、筐体に収めるためにカスタマイズ対応してほしい
- 今までの各社PLC+表示器を共通コントローラにしたい
- 半導体レシピ管理などのため、上位サーバとデータ受け渡しが必要
- 装置の標準機能を統一化し、各種装置の開発効率を向上させたい
- 各種I/OはEtherCAT接続したい
- ソフトPLC国際標準の5言語（IL、ST、LD、FBD、SFC）に対応
- INtime上でC言語でも開発可能
- 開発環境が整備されている
- 小型、省電力、省配線、低価格化を実現（装置が100Vで動作する必要がある）