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開発事例

産総研ミニマル製造装置向けコントローラ

導入製品

事例説明

概要

クリーンルームレスでデバイス作成する半導体製造装置向け専用EtherCATコントローラを開発。
オールインワンコントローラとして各種制御を可能にしました。量産にも対応。

ポイント

  • 半導体レシピ販売を考えており、特定顧客にセキュリティー付きで配信するための遠隔操作ができる環境を実現できた
  • 弊社のオールインワンコントローラが最適なソリューションと評価され、専用機を開発

顧客要求事項

  • 半導体製造装置(前工程から後工程)の約80種のコントローラとして、すべて同機種を採用したい
  • 8.4インチタッチパネルで、筐体に収めるためにカスタマイズ対応してほしい
  • 今までの各社PLC+表示器を共通化したい
  • 半導体レシピ管理などのため、上位サーバとデータ受け渡しが必要
  • 装置の標準機能を統一化し、各種装置の開発効率を向上させたい
  • 各種I/OはEtherCAT接続したい
  • ソフトPLC国際標準の5言語(IL、ST、LD、FBD、SFC)に対応
  • INtime上でC言語でも開発可能
  • 開発環境が整備されている
  • 小型、省電力、省配線、低価格化を実現(装置が100Vで動作する必要がある)