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製品の採用事例

精密光学露光装置用コントローラ

事例説明

概要

精密光学露光装置のコントローラとして、弊社のオールインワンコントローラを採用。

ポイント

  • タッチパネル、メカトロリンクのコントローラが一体化
  • レシピ管理や設定が簡易にできる
  • 省スペース化を実現
  • UPS対応

お客様要求事項

  • メカトロリンクでサーボモータードライバ制御
  • GigE、カメラ、照明の連動に対応
  • 電磁弁の制御に対応
  • タッチパネル