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半導体製造装置の状態表示/設定入力(産業用パネルPC事例)

半導体製造装置
スクリーニングテスターのロギング管理

パネコンと複数のセンサー接続で温度試験によるICスクリーニング機能検査を実施している。
リニアに上昇、下降するあらゆる温度環境での高度な検査に対して、拡張ボードによる省配線接続A-Link(HLS)によってシンプルな配線で検査データの収集を実現した。
今までは高温/低温時の温度安定状態のみでの検査を実施していたが、本装置導入によりあらゆる温度検査実施による、出荷品質を格段に向上させている。

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